Argonrecycling – Verunreinigtes Gas wieder nutzbar machen
Nicht nur im Bereich der Halbleiterherstellung stellt Argon einen unverzichtbaren Bestandteil des Herstellprozesses dar. In der Metallproduktion und -verarbeitung dient es als Schutzgas. Auch im Prozess Plasma-Lichtbogenschmelzen spielt es eine große Rolle, neben vielen weiteren Anwendungen. In der Regel wird das gebrauchte Prozessgas in die Atmosphäre emittiert. Das kann jedoch vermieden werden. Mit der Rückgewinnung von Argon […]